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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

Ｘ線の吸収補正を加味したζ因子法が開発されている。本稿では、半導体微細加工技術と種々の分析手法を組み合わせた2種類のζ因子測定用標準試料の作製方法について検討し、得られたζ因子の妥当性を検証した。

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_1.html