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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

Ｘ線の吸収補正を加味したζ因子法が開発されている。本稿では、半導体微細加工技術と種々の分析手法を組み合わせた2種類のζ因子測定用標準試料の作製方法について検討し、得られたζ因子の妥当性を検証した。

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_1.html

2.　鋼材中の粒界偏析微量元素定量に向けたSTEM-EDS分析 におけるζ因子測定技術

試料によるζ因子に対して,SRM2063aから求めたζ因 子との比較を行い,その妥当性を検討した。 1 .ζ因子法による高精度組成分析の必要性 1. 1 従来の C-L 法との比較とζ因子法の必要性

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_1/058-063.pdf

3.　神 戸 製 鋼 技 報

(論文) 鋼材中の粒界偏析微量元素定量に向けたSTEM-EDS分析におけるζ因子測定技術 山田敬子･村田祐也･林 和志･原 徹 64 (論文)

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_1/whole.pdf