「アルゴンプラズマ」検索結果
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1. 高移動度酸化物半導体 a-IGZTO を用いたトップゲート型 薄膜トランジスタの水素プラズマ処理による特性安定性
treatment. 検索用キーワード 薄膜トランジスタ,酸化物半導体,In-Ga-Zn-Sn-O,In-Ga-Zn-O,トップゲート,水素プラズマ,アルゴンプラズマ, 光電子分光 ■
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/dumm/__icsFiles/afieldfile/2025/03/19/247_037-041.pdf
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