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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

この低抵抗状態は熱処理に対して安定性が高いことを示した。また、X線光電子分光分析から、a-IGZTOが物理的にスパッタリングされていることを示唆するOH基がアルゴンプラズマ照射後に観測されるが、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html