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1.　銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発

(Apr. 2007) * 技術開発本部 機械研究所  ** Kobe Precision Inc. 銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/57_1/002-007.pdf

2.　シリコンウェーハ用高精度ナノトポグラフィ測定技術の開発

置が求められるようになっている。 本稿では,シリコンウェーハの研磨後検査工程向けに 当社が開発したサブナノメートル精度ナノトポグラフィ 測定装置について紹介する。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/048-053.pdf

3.　シリコンウェーハ用サブナノ精度サイトフラットネス計

site シリコンウェーハ用サブナノ精度サイトフラットネス計 Site Flatness Measurement System with an Accuracy of Sub-nanometer

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/65_2/087-091.pdf

4.　神戸製鋼技報掲載 KOBELCOのマテリアリティと価値創造を支える21のコア技術関連文献一覧表

MITANI ◦シリコンウェーハ用サブナノ精度サイトフラットネス計……………………………………… 田原和彦ほか 65/2 Site…Flatness…Measurement…System…with…

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_2/121-124.pdf

5.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

（技術資料） シリコンウェーハ用高精度ナノトポグラフィ測定技術の開発 P.48 原野敬久・甘中将人・田原和彦・松岡英毅・篠田達昭 半導体シリコンウェーハ製造において、CMP（Chemical

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

6.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol50, No1

78 SMIF対応シリコンウェーハ 一括移載機 26KB 綱木英俊・竹之内秀実 79 編集後記・次号予告 29KB TOP ご不明な点やお問い合わせなどがございましたら下記宛先までどうぞ

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol50_1.htm

7.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol57, No1

1 (巻頭言) 神戸製鋼のグループ技術戦略 24kB 佐藤 廣士 2 （論文） 銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発 116kB 鈴木哲雄・高田 悟・河合明博 8 （論文）

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol57_1.htm

8.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol.65, No.2

（論文） シリコンウェーハ用サブナノ精度サイトフラットネス計 929 KB 田原和彦・松岡英毅・森岡哲隆・甘中将人 92 （論文） リチウムイオン二次電池の試作・評価解析技術 1,872 KB

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol65_2.htm

9.　高圧アニールプロセスによる銅配線の微細溝への埋込効果

Cu 薄膜を用い,シリコンウェーハにあらかじめビア･トレンチを形成した評価素子(Test Element Group:TEG)上にそれぞれ 表 1 に示す条件で成膜した。形成し

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/54_1/044-051.pdf

10.　未来へのソリューション提供とコア技術

計測技術,数十mサイズの圧延機の動的挙動からサブ nmサイズのシリコンウェーハ平坦度を評価する表面形 状計測技術などがある。いずれも特殊な用途･環境条件

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_2/013-016.pdf