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1.　酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について 2013年3月26日

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html

2.　プレスリリース｜KOBELCO 神戸製鋼

技術・製品 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について 2013年3月21日 鉄鋼 汚染土壌・地下水浄化用鉄粉「エコメル™」

www.kobelco.co.jp/releases/index.html

3.　酸化物半導体を用いたトランジスタと強誘電体キャパシタを集積したメモリがIEEE主催の『Paul Rappaport Award賞』を受賞 企業情報 | KOBELCO 神戸製鋼

400℃以下の低温プロセスでトランジスタと強誘電体キャパシタを同時に形成しています。酸化物半導体薄膜の成膜に用いるIGZTOスパッタリングターゲットは、株式会社コベルコ科研が供給いたしました。

www.kobelco.co.jp/about_kobelco/awards/2023/1211835_18069.html

4.　スパッタロールコータ｜KOBELCO 神戸製鋼

PETフィルム等の基材に対し、ロールtoロール方式でスパッタリング成膜を行います。 スパッタリングカソードはDC, UBMS, DMSより選択可能です。（プレーナー・ロータリーカソードに対応）

www.kobelco.co.jp/products/function/rollcoater/sputter.html

5.　「透明性ケニファイン成膜技術」の開発について｜KOBELCO 神戸製鋼

今回開発した成膜技術は、ロールツーロールスパッタリング ※1 によりケニファインを薄膜化してフィルム上に成膜する技術です。形成されるケニファイン薄膜の厚さはナノメーターレベルでありながら、

www.kobelco.co.jp/releases/1196611_15541.html

6.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

の大型化への対応が困難、といった課題がありました。 酸化物半導体材料は、東京工業大学細野秀雄教授が開発したInGaZnOに代表される酸化物材料で、スパッタリング法で成膜が可能です。酸化物でありながら、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

7.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

その用途が偏りがちでした。 神戸製鋼が開発したUBMS™ －アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング装置は、高い密着力を実現し、バランスのとれた皮膜でDLCのアプリケーションを広げています。

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

8.　「AIPocket®」初号機の納入について｜KOBELCO 神戸製鋼

® という商標で販売開始して以降、同じくスパッタリング成膜やガスを主原料に使ったCVDの一種であるPECVD成膜 ※3 の装置を開発しました。

www.kobelco.co.jp/releases/1197757_15541.html

9.　(株)高秋化学へ当社独自の抗菌めっき技術「ケニファイン」のサブライセンス権を供与｜KOBELCO 神戸製鋼

に対して、当社機械事業部門が扱うロールツーロールスパッタリングにより、ケニファインを薄膜化してフィルム上に成膜する技術の事。機械事業部門が扱うため、今回のサブライセンス権供与の範囲からは除外している。

www.kobelco.co.jp/releases/1201021_15541.html

10.　高機能硬質膜コーティング受託加工市場への本格参入について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

方式による皮膜形成装置の製造販売を開始し、1998年には独自開発したスパッタリング方式のUBMS（ U nbalanced M agnetron S putter）（※注3）装置をメニューに加え、

www.kobelco.co.jp/releases/2007/1179060_14785.html