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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

自動車・電装などに使用されている。SiCパワーデバイスの一つであるトレンチ構造のSiC金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　SiCパワーデバイスのマルチスケール分析

に使用されている。SiCパワーデバイスの一つであるトレンチ構造のSiC金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ (Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/042-047.pdf

3.　お詫びと訂正

パワー半導体として注目されているSiCは,自動車･電装品への適用が拡大している。本特集号では,トレンチ型SiC-MOSFETに対する構造･組成･欠陥の解析例を取り上げた。走査型電子顕微鏡(SEM),

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/whole.pdf