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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

自動車・電装などに使用されている。SiCパワーデバイスの一つであるトレンチ構造のSiC金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html