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1. Vol.74, No.1 / Jun. 2025 通巻第252号 | KOBELCO 神戸製鋼
， 物理蒸着法 ， プラズマ成膜 ， アークイオンプレーティング法 ， AIP法 ， 陰極真空アーク法 ， 窒化膜 ， パーティクル 22（技術資料）
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/vol74_1.html
2. 新AIP蒸発源によるAlCrN硬質皮膜の特性と実金型での評価
tribology. 検索用キーワード 表面処理,真空成膜,物理蒸着法,プラズマ成膜,アークイオンプレーティング法,AIP法,陰極真空アーク法,窒化膜, パーティクル ■特集:お客様の「つくる」
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/pdf/74_1/086-093.pdf
3. 神 戸 製 鋼 技 報
神 戸 製 鋼 技 報 Vol. 74, No. 1/ Jun. 2025 通巻252号 特集:お客様の「つくる」に寄り添うKOBELCOの機械装置 1 ページ (巻頭言) お客様 ...
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/pdf/74_1/whole.pdf
property. 検索用キーワード 表面処理,真空成膜,物理蒸着法,プラズマ成膜,アークイオンプレーティング,スパッタリング,窒化膜,DLC,耐摩耗性, しゅう動特性 ■
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/dumm/__icsFiles/afieldfile/2025/03/19/247_054-058.pdf
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