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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 プラズマ成膜 、 アークイオンプレーティング 、 スパッタリング 、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 （解説） 高電流分散Sn法による超電導マグネット向けNb 3

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　機能性セラミックス･炭素系材料の成膜･装置技術の展開

property. 検索用キーワード 表面処理,真空成膜,物理蒸着法,プラズマ成膜,アークイオンプレーティング,スパッタリング,窒化膜,DLC,耐摩耗性, しゅう動特性 ■

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/054-058.pdf

3.　お詫びと訂正

(技術資料) 機能性セラミックス･炭素系材料の成膜･装置技術の展開 高橋哲也･久次米 進･磯村良幸･二井裕瑛 59 (解説) 高電流分散Sn法による超電導マグネット向けNb 3 Sn線材

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/whole.pdf