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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

この低抵抗状態は熱処理に対して安定性が高いことを示した。また、X線光電子分光分析から、a-IGZTOが物理的にスパッタリングされていることを示唆するOH基がアルゴンプラズマ照射後に観測されるが、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　SiCパワーデバイスのマルチスケール分析

という),ラマン分光で分析を行った事例を 紹介する。 SiCパワーデバイスのマルチスケール分析 中尾博樹 * 1 ･猪口憲一 * 1 ･佐々木美幸 * 2 Multiscale Analysis

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/042-047.pdf

3.　アンバランスドマグネトロンスパッタリング法により形成し た DLC 皮膜の特性

ア ン バ ラ ン ス ド マ グ ネ ト ロ ン(UBM : Unbalanced Magnetron)スパッタリングは,この従来のマグネトロ ンスパッタ源の磁場バランスを意図的に崩すことで,イ

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/50_2/058-061.pdf

4.　摺動部品向けDLC膜の機械特性および摺動特性評価

で測定した。また,硬さはナノインデン タを使用してBerkovich型ダイヤモンド圧子を用いて測 定し,硬さの値は澤･田中の方法 11) で圧子の先端補正 を行って算出した。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/66_2/058-062.pdf

5.　薄膜二次電池用低比抵抗コバルト酸リチウムターゲット

薄膜の結晶性 コバルト酸リチウム薄膜のラマン分光スペクトルには, E g (485cm － 1 )とA 1g (595cm － 1 )の 2 本のピークが現れ,結晶性の指標となる。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/65_2/078-081.pdf

6.　鉄鋼 1 次スケールの構造･密着性に及ぼすSi濃度の影響

はあるものの,確立された手法はない。  一方,スケールの構造解析については,ラマン分光法 やグロー放電分光法 14) ,透過型電子顕微鏡法 15) を用いた

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/55_1/031-036.pdf

7.　黒鉛をコーティングした固体高分子形燃料電池用チタン製 セパレータの特性

(特性X線源:Cu-Kα線)とラマン分光によって分析 した。また,黒鉛皮膜とチタンの界面構造を試料断面の 透過電子顕微鏡(TEM)と電子線回折によって分析した。 図 1

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/65_2/021-024.pdf

8.　光触媒抗菌チタン SPARKT

も高い傾向を示している。さらにアナターゼ量をレーザーラマン分光法にて解析すると 第 9 図 に示されるようにアナターゼピークのある 120cm −1 において析出相では母相の数倍になっている。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/49_3/065-067.pdf

9.　AES-REELSを用いた炭素材料の局所構造解析技術

X 線吸収分光法 5) (SR-XAFS:X-ray absorption fine  structure)の代用となる評価技術ということができる。  SR-XAFS

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10.　スケール微細構造と密着性に及ぼすCrおよび加熱条件の影響

 1 次スケールの各層の構造を,顕微ラマン分光装置 (日本電子製 JRS-1000)を用いて評価した。入射光源と し て,Ar レ ー ザ(λ＝514.5nm)を 用 い,照 射 出 力 は

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