検索結果

1.　接着接合の強度信頼性を担う金属表面制御技術

その一例として,エポキシ接着剤塗布前後におけるアル ミニウム酸化皮膜の電子状態を硬X線光電子分光法(Hard X-ray Photo Electron

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_1/130-136.pdf

2.　素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術

Microscope)のような表面形状をサブミクロンスケールで観察するもの,X線光電子分光法 (XPS: X-ray Photoelectron Spectroscopy)

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_2/043-047.pdf

3.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

この低抵抗状態は熱処理に対して安定性が高いことを示した。また、X線光電子分光分析から、a-IGZTOが物理的にスパッタリングされていることを示唆するOH基がアルゴンプラズマ照射後に観測されるが、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

4.　高分解能RBSによる薄膜評価

分光法,X 線光電子分光法や二次イオン質量分析法など の従来の表面分析法,あるいは透過型電子顕微鏡(TEM) を用いたエネルギ分散型の特性 X 線分析ならびに電子エ

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/062-065.pdf

5.　FT-IRによる銅表面酸化第一銅

しかしながら,オージェシグ ナルは,散乱光電子と 2 次電子が混在しており異方性を 持つことから Cu LMM スペクトルから Cu 2 O の定量解析を 行うことは困難である 7) , 8) 。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/071-073.pdf

6.　銀薄膜の耐食性に及ぼす合金元素添加効果

から耐食性を評価した。  試験後の一部試料表面をX線光電子分光法(XPS)に より解析した。スペクトルの測定にはパーキンエルマー 社製 PHI5400 型X線光電子分光装置を使用し,Ar + でス

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/017-022.pdf

7.　液晶配線用Al合金薄膜のドライエッチ技術の開発

枚づつ連続ドライエッチを行い,チャンバ内に 堆積した反応生成物の堆積状態の観察,及び光電子分光 法(X-ray Photo-electron Spectroscopy; XPS)による堆積

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/006-011.pdf

8.　神 戸 製 鋼 技 報

木梨 光･孫 悦･井海和也 85 (技術資料) パイプライン分野向け溶接材料 山本貴大･古川尚英 91 (技術資料) 溶接材料開発におけるMI技術の適用

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_1/whole.pdf

9.　神 戸 製 鋼 技 報

(解説) KOBELCOの電子材料機能発現技術 田内裕基･越智元隆･釘宮敏洋 43 (解説) 素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術 田内裕基･日野 綾･村田祐也･森田晋也 48

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_2/whole.pdf

10.　高移動度酸化物半導体 a-IGZTO を用いたトップゲート型 薄膜トランジスタの水素プラズマ処理による特性安定性

した。また,X線光電子分光分析から,a-IGZTOが物理的にスパッタリングされていることを示唆するOH基がア

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/037-041.pdf