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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

高移動度酸化物半導体a-IGZTOを用いたトップゲート型 薄膜トランジスタの水素プラズマ処理による特性安定性 P.37 西山功兵・越智元隆・寺前裕美・後藤裕史

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html