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1.　高圧アニールプロセスによる銅配線の微細溝への埋込効果

配線 ビア部の熱粘弾塑性解析を行った。解析には汎用 FEM ソフトウェア ABAQUS ver.5.8 を用い,有限要素法にて 応 力 と 歪 に 係 わ る 諸 量 を 計 算 した 18) 。ま

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/54_1/044-051.pdf

2.　高圧アニールプロセスでの銅配線熱応力評価

1. 1 逆解析による銅薄膜特性の推定  銅配線応力解析方法として,①熱弾塑性解析,②熱粘 弾性解析(熱弾性クリープ解析)の 2 種類の熱応力計算 手法を検討することとした。  これら 2

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/078-082.pdf

3.　高圧アニールプロセスの半導体デバイス用デュアル ダマシン銅配線形成への応用

ここで測定した薄膜応力のデータを基に,薄膜の弾性定数を見積もり,求めた弾性定数を使用してCu 配線,特にビア部の熱弾塑性解析を行った。解析には汎用有限要素法ソフトウェア:ABAQUS ver. 5.8

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/045-052.pdf

4.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 熱弾塑性解析 、 変形解析 、 FEM 、 HT-MAG 07 （論文） 鋼板溶接熱影響部の相変態モデル構築とじん性予測 P.31 井元雅弘・岡崎喜臣・粟飯原周二・糟谷 正 鋼板溶接熱影響部

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_1.html

5.　理想化陽解法FEMによる片面突合せ溶接時の高温割れ および変形解析

1. 1 理想化陽解法 FEM による溶接力学解析 FEM 熱弾塑性解析手法を大規模･高速化した理想化 陽解法 FEM の解析手法について説明する。従来の溶接

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_1/024-030.pdf

6.　最近の片面サブマージアーク溶接技術

5 ) を用いた熱弾塑性解析に基づき凝固割れについて検討を行った。 解析では降温過程においてBTRに作用する塑性ひずみ増分(以下,BTR塑性ひずみ増分という。 図 8 )を割れ発生の指標としている

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/67_1/022-026.pdf

7.　残留応力制御型 TMCP 鋼板の開発と有効性検証

るものとして取扱った。また, 熱弾塑性解析においては, 熱源が通過後の要素は,剛性がないダミー要素として扱 った。加熱 ･ 溶融に費やされる熱量については,切断溝 の両側の要素にそれぞれ付与した。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_1/006-010.pdf

8.　神 戸 製 鋼 技 報

1. 1 理想化陽解法 FEM による溶接力学解析 FEM 熱弾塑性解析手法を大規模･高速化した理想化 陽解法 FEM の解析手法について説明する。従来の溶接

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_1/whole.pdf

9.　神 戸 製 鋼 技 報

5 ) を用いた熱弾塑性解析に基づき凝固割れについて検討を行った。 解析では降温過程においてBTRに作用する塑性ひずみ増分(以下,BTR塑性ひずみ増分という。 図 8 )を割れ発生の指標としている

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/67_1/whole.pdf