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「物理蒸着法」の検索結果5件1 ~ 5件目を表示

1. R&D 神戸製鋼技報|KOBELCO 神戸製鋼

物理蒸着法 、 プラズマ成膜 、 アークイオンプレーティング 、 スパッタリング 、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 (解説)

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2. 機能性セラミックス・炭素系材料の成膜・装置技術の展開

(Jul. 2022) まえがき =物理蒸着法(Physical Vapor Deposition, 以下 PVDという)や化学蒸着法(Chemical Vapor Deposition, 以下

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/054-058.pdf

3. 高圧アニールプロセスによる銅配線の微細溝への埋込効果

現 在 は 電 解 め っ き 以 外 に,物 理 蒸 着 (PVD) 23) ∼25) や化学蒸着法(CVD ) 26) ∼28) によるダマシン配線形成技術も研究されているが,Cu

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/54_1/044-051.pdf

4. お詫びと訂正

材料ソリューション事業部 応用物理技術部) 正: *1 ㈱コベルコ科研 技術本部 EV・電池プロジェクト室 *2 ㈱コベルコ科研 技術本部 材料ソリューション事業部 応用物理技術部

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/whole.pdf

5. 表面技術の現状と展望

(物 理蒸着法)や CVD(化学蒸着法)に代表される気相コ ーティングが新機能を創製する表面改質技術として進展 しつつある。 2.技術融合の時代 表面機能は,コーティング膜や表面に形成される反応

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/50_2/001-001.pdf

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