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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 物理蒸着法 、 プラズマ成膜 、 アークイオンプレーティング 、 スパッタリング 、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 （解説）

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html