検索結果

1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 物理蒸着法 、 プラズマ成膜 、 アークイオンプレーティング 、 スパッタリング 、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 （解説）

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　機能性セラミックス･炭素系材料の成膜･装置技術の展開

(Jul. 2022) まえがき ＝物理蒸着法(Physical Vapor Deposition, 以下 PVDという)や化学蒸着法(Chemical Vapor Deposition, 以下

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/054-058.pdf

3.　表面技術の現状と展望

(物 理蒸着法)や CVD(化学蒸着法)に代表される気相コ ーティングが新機能を創製する表面改質技術として進展 しつつある。 2.技術融合の時代 表面機能は,コーティング膜や表面に形成される反応

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/50_2/001-001.pdf

4.　高圧アニールプロセスによる銅配線の微細溝への埋込効果

現 在 は 電 解 め っ き 法 以 外 に,物 理 蒸 着 法(PVD法) 23) ～25) や化学蒸着法(CVD 法) 26) ～28) によるダマシン配線形成技術も研究されているが,Cu

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/54_1/044-051.pdf