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1.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

DLC以外の適用膜種 窒化膜（TiN TiAlN CrN など） 酸化膜（Al 2 O 3 など）、硫化物膜（MoS 2 など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） 膜厚 1～10μｍ

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

2.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 （解説） 高電流分散Sn法による超電導マグネット向けNb 3 Sn線材 P.59 川嶋慎也 本稿では、分散Sn法によって臨界電流密度

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html