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1.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

DLC以外の適用膜種 窒化膜（TiN TiAlN CrN など） 酸化膜（Al 2 O 3 など）、硫化物膜（MoS 2 など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） 膜厚 1～10μｍ

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

2.　高分解能RBSによる薄膜評価

Ar  irradiated Si substrate た。3. 3 基板表面のひずみ 前節のような結晶格子位置の大きな変化ではなく,原子間距離の数％程度の変位も測定することが可能である。例としては,格子定数の異なるエピ膜と基板の界面のひずみや,単結晶基板表面を酸化もしくは窒化した場合の基板表面の結晶格子の変位などがある。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/062-065.pdf

3.　高耐久性燃料電池セパレータ材料NCチタンの構造と特徴

多数の皮膜の耐食性や導電性の評価結果が論文発表されているが,論文ごとに耐食試験条件が異なっていること,耐食試験前の接触抵抗は測定しているものの耐食試験後の接触抵抗を測定している論文が少ないことから,比較可能な皮膜は限られたが,検討されている膜種は炭素膜,窒化膜,炭化膜,金属膜に大別されるため,膜種としてはほぼ網羅することができた。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/73_2/135-139.pdf

4.　ナノインデンテーション法による薄膜の機械的特性評価

 本法により,各種金属合金や酸化膜,窒化膜,カーボン系材料･有機高分子材料などの幅広い材料の単層や多層薄膜,熱処理やイオン注入などの表面改質,線材,電気配線などの微小領域の硬さ,ヤング率の測定が可能である。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/074-077.pdf

5.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 窒化膜 、 DLC 、 耐摩耗性 、 しゅう動特性 12 （解説） 高電流分散Sn法による超電導マグネット向けNb 3 Sn線材 P.59 川嶋慎也 本稿では、分散Sn法によって臨界電流密度

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

6.　お詫びと訂正

(解説) 車両電動化に資する分析･評価技術 坪田隆之･阿知波 敬･西村 学･高梨泰幸･常石英雅･小川 稜 38 (技術資料) Back to Back型モータ評価ベンチ 山下俊郎･榊原健男

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/73_2/whole.pdf

7.　機能性セラミックス･炭素系材料の成膜･装置技術の展開

property. 検索用キーワード 表面処理,真空成膜,物理蒸着法,プラズマ成膜,アークイオンプレーティング,スパッタリング,窒化膜,DLC,耐摩耗性, しゅう動特性 ■

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/054-058.pdf

8.　銅汚染の無いシリコンウェーハ再生技術の開発

などの金属膜と シリコン酸化膜やシリコン窒化膜などの非金属膜が組合 わさったもの,非金属膜のみのもの,あるいはパターン 化された膜が形成されたものなどが存在する。ウェーハ

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/57_1/002-007.pdf

9.　AIP法による切削工具用硬質皮膜の設計技術

そこで本稿ではまず,これら二つの要因に大きく影響をおよぼす膜特性として硬さと耐酸化性を取上げ,窒化物皮膜の硬さと耐酸化性を制御するための皮膜組成ならびに構造設計技術に関して解説する。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/59_1/018-024.pdf

10.　AIP 法における装置技術の展開

7) ,活性度が高く緻密な膜が容易に形成でき,炭窒化膜などの成膜時の反応性が良好である。いっぽう,アークスポットでは同時に電気的に中性な溶滴であるドロップレット(以下マクロパーティクル)

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/50_2/053-057.pdf