「結晶欠陥」検索結果
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1. 半導体と製造装置の試験・分析 | KOBELCO 神戸製鋼
極微量元素分析・クリーンルーム環境評価 表面の結晶欠陥・構造欠陥 ウェハ平坦度・エッジ形状測定など 薄膜物性・構造評価 各種構造・表面分析 HR-RBSによる高分解の薄膜解析 デバイス・実装材等評価
www.kobelco.co.jp/products/industry/semiconductor/test.html
ライフタイムは、試料に混入した汚染や結晶欠陥等を鋭敏に反映する重要なパラメータです。 取扱会社: 株式会社コベルコ科研 測定例 ウェハ汚染によるライフタイム値の低下(青色部) ウェハ保持部の汚染
www.kobelco.co.jp/products/industry/semiconductor/wafer.html
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