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1. 半導体用酸化物スパッタリングターゲット | KOBELCO 神戸製鋼
特性 薄膜トランジスタ構造 薄膜トランジスタ特性 Back-Channel-Etch type Top-Gate type Transfer curve Saturation mobility
www.kobelco.co.jp/products/industry/semiconductor/target.html
2. 「技研公開2017」での展示について｜KOBELCO 神戸製鋼
日本語 English 中文 グループ全体 このサイト内 技術・製品 展示会情報 「技研公開2017」での展示について 2017年5月15日 株式会社神戸製鋼所 5月25日（木）～28日（日）にNHK ...
www.kobelco.co.jp/notices/1197021_15586.html
3. 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
この特徴によって、IGZOでは適用が困難であった高い生産性が得られるバックチャネル型薄膜トランジスタ（以下BCE-TFT）に対して適用することができます。また、
www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html
4. フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
（以下FPD）の薄膜トランジスタ（以下TFT）に用いられる酸化物半導体の特性を評価することが可能な差動マイクロPCD装置を開発しました。 本装置の実現により、TFTを形成することなく、
www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html
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