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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 視野分割 11 （技術資料） 機能性セラミックス・炭素系材料の成膜・装置技術の展開 P.54 高橋哲也・久次米 進・磯村良幸・二井裕瑛 真空成膜技術の代表的手法の一つであるAIP（Arc Ion

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html