2023年5月11日 酸化物半導体を用いたトランジスタと強誘電体キャパシタを集積したメモリがIEEE主催の『Paul Rappaport Award賞』を受賞 2023年3月10日 「
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2. フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。 フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について ～ 世界初、
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3. 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について 2013年3月26日
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技術・製品 フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について 2013年10月17日 鉄鋼
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5. 半導体用酸化物スパッタリングターゲット | KOBELCO 神戸製鋼
半導体用酸化物スパッタリングターゲット 前工程 IGZOよりも高電子移動度の酸化物半導体 コベルコ科研マテリアル事業部から、Φ300mm
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6. 高移動度酸化物半導体材料
(以下,IGZOという)酸化物半導体 1 ) が注目されており,一部 で量産採用が始まっている。 表 1 にa-Si,LTPS,IGZOの特徴を示す。IGZOに代
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に代表されるアモルファ ス酸化物半導体材料 2 ), 3 ) は,電子の動きやすさに対応 する電子移動度が従来の材料の10倍以上高く,大面積基 板への成膜に対応していることから,次世代ディスプレ
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-PCD 法による酸化物半導体薄膜の評価に おける課題と機械学習導入の必要性 μ-PCD法は,半導体試料中の微量の欠陥や汚染を, 電極付けなどを必要とすることなく非接触,非破壊で高
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9. μ-PCD法による酸化物半導体薄膜の評価装置 －計測技術の有効性－
に代表さ れる酸化物半導体 1 ) を用いた薄膜トランジスタ(以下, TFTという)は,従来用いられてきたアモルファスSi(以 下,a-Siという)より移動度が高く,高精細化が可能で
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10. PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導 体TFTの特性解析
ットを展開してきたが,近年,IGZOターゲットをはじ めとするTFT向けアモルファス酸化物半導体ターゲッ トの開発に着手し,当社において材料開発を行ってい る。
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