Award 結晶酸化物半導体薄膜の開発 応用物理研究所 越智 元隆 文部科学省 創意工夫功労者賞（文部科学大臣表彰） 3次元アトムプローブ用試料の電解研磨技術の考案 試作実験室 神足 新二、織田
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2023年5月11日 酸化物半導体を用いたトランジスタと強誘電体キャパシタを集積したメモリがIEEE主催の『Paul Rappaport Award賞』を受賞 2023年3月10日 「
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3. 「SEMICON JAPAN 2025」への出展について | KOBELCO 神戸製鋼
低消費電力化に寄与し、Si半導体プロセスに適合する高移動度酸化物半導体スパッタリングターゲット 2 はんだ付着を抑制し検査不良を低減するプローブコーティングサービス LEO事業本部 1
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4. フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。 フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について ～ 世界初、
www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html
5. 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼
最新の情報と異なる場合がありますのでご了承ください。 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について 2013年3月26日
www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html
技術・製品 フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について 2013年10月17日 鉄鋼
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7. 半導体用酸化物スパッタリングターゲット | KOBELCO 神戸製鋼
半導体用酸化物スパッタリングターゲット 前工程 IGZOよりも高電子移動度の酸化物半導体 コベルコ科研ターゲット事業本部から、Φ300mm
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8. 高移動度酸化物半導体材料
(以下,IGZOという)酸化物半導体 1 ) が注目されており,一部 で量産採用が始まっている。 表 1 にa-Si,LTPS,IGZOの特徴を示す。IGZOに代
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に代表されるアモルファ ス酸化物半導体材料 2 ), 3 ) は,電子の動きやすさに対応 する電子移動度が従来の材料の10倍以上高く,大面積基 板への成膜に対応していることから,次世代ディスプレ
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-PCD 法による酸化物半導体薄膜の評価に おける課題と機械学習導入の必要性 μ-PCD法は,半導体試料中の微量の欠陥や汚染を, 電極付けなどを必要とすることなく非接触,非破壊で高
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