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1.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

など） 酸化膜（Al 2 O 3 など）、硫化物膜（MoS 2 など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） 膜厚 1～10μｍ お問い合わせ先 株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

2.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

神戸製鋼所の技術協力により得られた、TFT形成の初期工程である酸化膜成膜段階で、TFT形成後の性能が予測可能であるとの知見をもとに、活用ノウハウを開発し、独自の判定手法を組み込むことで、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

3.　⾃動⾞向け燃料電池※⽤表⾯処理チタンセパレータ材 NCチタン｜KOBELCO 神戸製鋼

セパレータ材料には、表⾯に酸化膜を形成することによって耐⾷性を発揮するチタン箔やステンレス箔が⽤いられています。しかし、酸化膜は導電性が低いので、表⾯処理⽪膜が必要となります。従来、

www.kobelco.co.jp/products/r-d/achieve/1214521_14765.html

4.　極薄ゲート酸化膜の信頼性に及ぼす自然酸化膜の影響

LSI の微細化にともない,ゲート酸化膜の 極薄膜化,高品質化が要求されている。半導体素子製造 工程では,有機物,パーティクルの除去のため,ウェッ ト洗浄がおこなわれる。ゲート酸化膜の薄膜化にともな

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/48_3/043-046.pdf

5.　No.23 接合法(その1) 素形材事業 | KOBELCO 神戸製鋼

三番目として、材料の表面に存在する酸化膜は溶接の場合は害となるので除去しなければならないということ。また、アルミは熱膨張・収縮が鉄の約2倍もあり、

www.kobelco.co.jp/advanced-materials/technical/almi/1174819_17316.html

6.　プラズマチャージアップダメージ評価ウェーハの開発

(例えば,フォトレジ スト･酸化膜など) を被った高アスペクト比の微細パター ンが存在する。このとき,電子とイオンの空間的な運動 量の違いにより,微細パターン上部に電子が付着し電子

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/083-086.pdf

7.　金めっき代替可能な自動車端子用銅合金向けすずめっき

本試験では接触抵抗に及ぼす 酸化膜破壊の影響を確認するため,酸化膜の破壊が緩や かになるように摺動は行わずに試験を行った。図2より, リフローすずめっきは,荷重の増加に伴い接触抵抗が大

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/73_2/140-145.pdf

8.　高分解能RBSによる薄膜評価

デバイスのゲート絶縁膜は, 微細化の進展により2005 年には, シリコン酸化膜相当で 1nm 以下の厚さの膜が必要とされている。これは 3 ～ 4 原子層の厚さに相当 する。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/062-065.pdf

9.　半導体プロセスにおける重金属汚染の検出  −キャリアライフタイム測定装置−

アを形成したり重金属析出物や積層欠陥などを生成し て,酸化膜耐圧の劣化やリーク電流の増加を引起こすな ど, 半導体製品の性能に大きな影響を与えるためである。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/087-093.pdf

10.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol48, No3

43 極薄ゲート酸化膜の信頼性に及ぼす自然酸化膜の影響 60KB 武田実佳子・大脇武史・藤井秀夫・楠本栄典 47 Siウェハ再生方法の開発 89KB 原 宣宏・鈴木哲雄・井上秀敏・高田 悟 51

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol48_3.htm