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1.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

など） 酸化膜（Al 2 O 3 など）、硫化物膜（MoS 2 など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） 膜厚 1～10μｍ お問い合わせ先 株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

2.　Topics｜KOBELCO 神戸製鋼

第64回講演大会 リフローSnめっきの接触抵抗に及ぼすSn酸化膜の厚さの影響 自動車技術会 鋼板製電池パックコンセプトの開発 自動車技術会 鋼板製電池パックコンセプトの開発 自動車技術会

www.kobelco.co.jp/products/r-d/achieve/index.html

3.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

神戸製鋼所の技術協力により得られた、TFT形成の初期工程である酸化膜成膜段階で、TFT形成後の性能が予測可能であるとの知見をもとに、活用ノウハウを開発し、独自の判定手法を組み込むことで、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

4.　⾃動⾞向け燃料電池※⽤表⾯処理チタンセパレータ材 NCチタン｜KOBELCO 神戸製鋼

セパレータ材料には、表⾯に酸化膜を形成することによって耐⾷性を発揮するチタン箔やステンレス箔が⽤いられています。しかし、酸化膜は導電性が低いので、表⾯処理⽪膜が必要となります。従来、

www.kobelco.co.jp/products/r-d/achieve/1214521_14765.html

5.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

自動車・電装などに使用されている。SiCパワーデバイスの一つであるトレンチ構造のSiC金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

6.　新 製 品 新 技 術

これに対して,高い耐食性を有するが導電性に乏しいチタン酸化膜にナノサイズの導電性のカーボンを分散した表面被膜を付与することに成功し,ナノカーボン複合

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/078.pdf

7.　極薄ゲート酸化膜の信頼性に及ぼす自然酸化膜の影響

LSI の微細化にともない,ゲート酸化膜の 極薄膜化,高品質化が要求されている。半導体素子製造 工程では,有機物,パーティクルの除去のため,ウェッ ト洗浄がおこなわれる。ゲート酸化膜の薄膜化にともな

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/48_3/043-046.pdf

8.　No.23 接合法(その1) 素形材事業 | KOBELCO 神戸製鋼

三番目として、材料の表面に存在する酸化膜は溶接の場合は害となるので除去しなければならないということ。また、アルミは熱膨張・収縮が鉄の約2倍もあり、

www.kobelco.co.jp/advanced-materials/technical/almi/1174819_17316.html

9.　SiCパワーデバイスのマルチスケール分析

金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ(Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect Transistor ,以下MOSFET という)

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/042-047.pdf

10.　プラズマチャージアップダメージ評価ウェーハの開発

(例えば,フォトレジ スト･酸化膜など) を被った高アスペクト比の微細パター ンが存在する。このとき,電子とイオンの空間的な運動 量の違いにより,微細パターン上部に電子が付着し電子

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/083-086.pdf