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1.　UBMSによるDLCコーティング｜KOBELCO 神戸製鋼

など） 酸化膜（Al 2 O 3 など）、硫化物膜（MoS 2 など） 各種金属膜（Au、Ag、W、Ta、Nb、Vなど） 膜厚 1～10μｍ お問い合わせ先 株式会社 神戸製鋼所 機械事業部門

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/ubms/index.html

2.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

神戸製鋼所の技術協力により得られた、TFT形成の初期工程である酸化膜成膜段階で、TFT形成後の性能が予測可能であるとの知見をもとに、活用ノウハウを開発し、独自の判定手法を組み込むことで、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

3.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

自動車・電装などに使用されている。SiCパワーデバイスの一つであるトレンチ構造のSiC金属酸化膜半導体電界効果トランジスタ（Metal-Oxide Semiconductor Field-Effect

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

4.　No.23 接合法(その1) 素形材事業 | KOBELCO 神戸製鋼

三番目として、材料の表面に存在する酸化膜は溶接の場合は害となるので除去しなければならないということ。また、アルミは熱膨張・収縮が鉄の約2倍もあり、

www.kobelco.co.jp/advanced-materials/technical/almi/1174819_17316.html

5.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol48, No3

43 極薄ゲート酸化膜の信頼性に及ぼす自然酸化膜の影響 60KB 武田実佳子・大脇武史・藤井秀夫・楠本栄典 47 Siウェハ再生方法の開発 89KB 原 宣宏・鈴木哲雄・井上秀敏・高田 悟 51

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol48_3.htm

6.　No.10 [アルミの押出] 素形材事業 | KOBELCO 神戸製鋼

また直接法のメタルフローチャートを見てわかるとおり、直接法では最後までビレット表面の酸化膜層は押出されず「押しカス」として残るためビレット表面の面削は不要。

www.kobelco.co.jp/advanced-materials/technical/almi/1174597_17316.html

7.　12月 2005年 || KOBELCO 神戸製鋼

鉄鋼製品の製造過程で、鋼材表面に副次的に発生する酸化膜を原料としています。特定の線材製品から、細かくかつ電波の吸収に適した「厚み5～20ミクロン、大きさが数10～100ミクロン」程度の『扁平形状』

www.kobelco.co.jp/archive/topics/2005/12/1174915_7538.html

8.　3月 || KOBELCO 神戸製鋼

Transistor（金属酸化膜半導体電界効果型トランジスター）の略でLSIの基本トランジスタである。 *5 ゲート絶縁膜 ： ＭＯＳトランジスタのゲート電極下にある酸化膜（ＳｉＯ２）。

www.kobelco.co.jp/archive/topics/2004/03/1172403_7440.html