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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 EDX 、 結晶欠陥 10 （技術資料） シリコンウェーハ用高精度ナノトポグラフィ測定技術の開発 P.48 原野敬久・甘中将人・田原和彦・松岡英毅・篠田達昭 半導体シリコンウェーハ製造において、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　生産拠点(国内)｜KOBELCO 神戸製鋼

組成分析：SEM（EDX） その他、より高度な分析、評価、磨耗試験などが必要な場合には、当社関係各社にて対応いたします。 多槽式自動洗浄装置 多槽式自動洗浄装置 大型AIP装置 大型AIP ® 装置

www.kobelco.co.jp/products/function/pvd/belcoat/takasago/index.html