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1.　酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

酸化物半導体として先行して国内でFPD量産が開始されたIGZO（In-Ga-Zn-O）と同等の薄膜トランジスタ特性が得られることを特徴とします。

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html

2.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 In-Ga-Zn-Sn-O 、 In-Ga-Zn-O 、 トップゲート 、 水素プラズマ 、 アルゴンプラズマ 、 光電子分光 09 （技術資料） SiCパワーデバイスのマルチスケール分析

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html