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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

、 In-Ga-Zn-Sn-O 、 In-Ga-Zn-O 、 トップゲート 、 水素プラズマ 、 アルゴンプラズマ 、 光電子分光 09 （技術資料） SiCパワーデバイスのマルチスケール分析

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html