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本稿では,TFTの信頼性に関わるチャネル領域における電子状態の評価方法としてPITS(photoinduced transient spectroscopy) 7 ) 法が有効なことを実験的に示

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，素子， PITS ，光ディスク，記録膜 10（解説）素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術 P.43 田内裕基, 日野綾, 村田祐也, 森田晋也ダウンロード

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on. 検索用キーワード電子材料,TFT,酸化物半導体,素子,PITS,光ディスク,記録膜 ■特集:KOBELCOのマテリアリティと価値創造を支える21のコア技術 FEATURE : 21

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et al. ◦PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導体TFTの特性解析 ……………… 田尾博昭ほか 64/2 TFT Characteristic Analysis by PITS

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et…al. ◦PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導体TFTの特性解析… ………………田尾博昭…ほか 64/2 TFT…Characteristic…Analysis…by…

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Control of * aspect ratio of corrosion pits C Si Cr V Hydrogen embrittlement

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and pits) ･Increase the arc force ･Thinner throat thickness →Smooth release the zinc vapors →

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of pits, can be evaluated on the delayed fracture susceptibility. This test provides

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1.6 Number of pits (pc/ 600 mm) Number of testing＝3 No data No data 4.0 7.7 0.0 No data No data

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the current aluminum alloy for magnetic memory disks is so designed as to decrease pits & nodules and to

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