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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

， 素子 ， PITS ， 光ディスク ， 記録膜 10 （解説） 素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術 P.43 田内裕基・日野 綾・村田祐也・森田晋也

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol72_2.html

2.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol64, No2

（論文） PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導体TFTの特性解析 859kB 田尾博昭・日野 綾・高梨泰幸・林 和志・釘宮敏洋 115 （論文） 貼り合わせウェーハのずれ測定法

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol64_2.htm