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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

（Chemical Mechanical Polishing）工程で加工される STI（Shallow Trench Isolation）の品質はナノトポグラフィの影響を強く受けることが知られており、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

2.　シリコンウェーハ用高精度ナノトポグラフィ測定技術の開発

工程により加 工されるSTI(Shallow Trench Isolation)では,ナノト ポグラフィがその品質に大きな影響を与えることが知ら れている 2) 。

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/048-053.pdf

3.　お詫びと訂正

誤: *1 ㈱コベルコ科研 技術本部 *2 ㈱コベルコ科研 技術本部(現 ㈱コベルコ科研 材料ソリューション事業部 応用物理技術部) 正: *1 ㈱コベルコ科研 技術本部 EV･電池プロジ ...

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/71_2/whole.pdf