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1.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

（Chemical Mechanical Polishing）工程で加工される STI（Shallow Trench Isolation）の品質はナノトポグラフィの影響を強く受けることが知られており、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html