「STI」検索結果
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1. シリコンウェーハ用高精度ナノトポグラフィ測定技術の開発
工程により加 工されるSTI(Shallow Trench Isolation)では,ナノト ポグラフィがその品質に大きな影響を与えることが知ら れている 2) 。
www.kobelco.co.jp/r-d/technology-review/dumm/__icsFiles/afieldfile/2025/03/19/247_048-053.pdf
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