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1.　酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

IGZOでは適用が困難であった高い生産性が得られるバックチャネル型薄膜トランジスタ（以下BCE-TFT）に対して適用することができます。また、リワーク工程で用いられる酸エッチング液に耐えることができ、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html

2.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

世界初、成膜直後やTFT形成前のプロセス段階でのインライン評価が可能 ～ 2013年10月22日 株式会社神戸製鋼所 株式会社コベルコ科研 （株）コベルコ科研（神戸製鋼の100％出資子会社：以下

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

3.　Topics｜KOBELCO 神戸製鋼

（会長賞） OLED用TFT試作方法の考案 開発業務部 下田 悠稀、福田 丈一郎 兵庫工業会 職域における創意工夫者表彰 発熱性評価試験方法の改善 開発業務部 小坂 歩美、坪 博一 展示会情報

www.kobelco.co.jp/products/r-d/achieve/index.html

4.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

この還元反応により、水素プラズマを用いたトップゲート型TFTの熱処理に対する安定性が高められたと考えられる。 ダウンロード ・キーワード 薄膜トランジスタ 、 酸化物半導体 、

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol71_2.html

5.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

電子材料 ， TFT ， 酸化物半導体 ， 素子 ， PITS ， 光ディスク ， 記録膜 10 （解説） 素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術 P.43 田内裕基・日野

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol72_2.html

6.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol57, No1

（論文） 低温ポリシリコンTFTプロセスにおける結晶欠陥の評価 －ライフタイム測定技術の応用－ 276kB 住江伸吾・山下圭三・尾嶋 太・高松弘行 17 （論文）

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol57_1.htm

7.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol64, No2

（論文） PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導体TFTの特性解析 859kB 田尾博昭・日野 綾・高梨泰幸・林 和志・釘宮敏洋 115 （論文） 貼り合わせウェーハのずれ測定法

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol64_2.htm

8.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol.65, No.2

（技術資料） BCE型TFT対応酸化物半導体材料 970 KB 森田晋也・越智元隆・釘宮敏洋 78 （技術資料） 薄膜二次電池用低比抵抗コバルト酸リチウムターゲット 888 KB

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol65_2.htm