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1. フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

世界初、成膜直後やTFT形成前のプロセス段階でのインライン評価が可能 ~ 2013年10月22日 株式会社神戸製鋼所 株式会社コベルコ科研 (株)コベルコ科研(神戸製鋼の100%出資子会社:以下

2. 酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

IGZOでは適用が困難であった高い生産性が得られるバックチャネル型薄膜トランジスタ(以下BCE-TFT)に対して適用することができます。また、リワーク工程で用いられる酸エッチング液に耐えることができ、

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