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1.　酸エッチング液耐性を備えたフラットパネルディスプレイ用酸化物半導体材料及びスパッタリングターゲット材について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

IGZOでは適用が困難であった高い生産性が得られるバックチャネル型薄膜トランジスタ（以下BCE-TFT）に対して適用することができます。また、リワーク工程で用いられる酸エッチング液に耐えることができ、

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188235_13519.html

2.　フラットパネルディスプレイ向け酸化物半導体評価用差動マイクロPCD装置の開発・本格販売開始について プレスリリース | KOBELCO 神戸製鋼

世界初、成膜直後やTFT形成前のプロセス段階でのインライン評価が可能 ～ 2013年10月22日 株式会社神戸製鋼所 株式会社コベルコ科研 （株）コベルコ科研（神戸製鋼の100％出資子会社：以下

www.kobelco.co.jp/releases/2013/1188912_13519.html

3.　R&D 神戸製鋼技報｜KOBELCO 神戸製鋼

電子材料 ， TFT ， 酸化物半導体 ， 素子 ， PITS ， 光ディスク ， 記録膜 10 （解説） 素材開発を支える原子スケールの物理分析解析技術 P.43 田内裕基・日野

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol72_2.html

4.　BCE型TFT対応酸化物半導体材料

kディスプレイにみられる高精細化などの高性能化が進んでおり,画像素子を駆動するためのスイッチング素子である薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/65_2/072-077.pdf

5.　KOBELCOの電子材料機能発現技術

on. 検索用キーワード 電子材料,TFT,酸化物半導体,素子,PITS,光ディスク,記録膜 ■特集:KOBELCOのマテリアリティと価値創造を支える21のコア技術 FEATURE : 21

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/72_2/038-042.pdf

6.　PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導 体TFTの特性解析

film transistor,以下TFTという)には,高速 応答性,すなわち半導体特性としての高移動度が要求さ れるようになった。 これまでTFTを形成する半導体薄膜材料には,主に

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/64_2/110-114.pdf

7.　液晶パネル用アルミニウム合金ターゲット材料

る。 2.TFT 液晶パネルと配線膜  スパッタリング法の応用分野の中でも,液晶パネル分 野は,OA 機器あるいは家電製品を中心に今後とも市場 2

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/52_2/002-005.pdf

8.　低温ポリシリコンTFTプロセスにおける結晶欠陥の評価 −ライフタイム測定技術の応用−

成した薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor: TFT) は,活性領域の移動度が高くサイズを小さくできるた め,表示密度の大きな高精細パネルの製作が可能である

www.kobelco.co.jp/technology-review/pdf/57_1/008-016.pdf

9.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol57, No1

（論文） 低温ポリシリコンTFTプロセスにおける結晶欠陥の評価 －ライフタイム測定技術の応用－ 276kB 住江伸吾・山下圭三・尾嶋 太・高松弘行 17 （論文）

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol57_1.htm

10.　R&D 神戸製鋼技報 バックナンバ Vol64, No2

（論文） PITS測定とデバイスシミュレーションによる酸化物半導体TFTの特性解析 859kB 田尾博昭・日野 綾・高梨泰幸・林 和志・釘宮敏洋 115 （論文） 貼り合わせウェーハのずれ測定法

www.kobelco.co.jp/technology-review/vol64_2.htm